微机电系统(MEMS)技术的研究与应用

一体的系统.其特征尺寸极小,学科交叉广泛;技术研究包括微系统理论、设计建模、微机械加工、微器件集成等多个方面;学科分类涵盖了机械、力学、光学、流体、电磁学、生物学等各领域,在民品和军品领域有许多热点应用.本文介绍了微机电系统发展概况、微机电系统技术关键、微机电系统有关传感器,以及微机电系统热点应用和微机电系统技术的.发展前景.

作者：高世桥曲大成作者单位：高世桥(北京理工大学机电工程学院)

曲大成(信息科学技术学院,北京,100081)

刊名：科技导报 ISTIC PKU 英文刊名： SCIENCE & TECHNOLOGY REVIEW 年，卷(期)： 2004""(4) 分类号： H TP TM O3 关键词：微机电系统 MEMS 微机械加工智能控制

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